Nanogaps Sensors and Resonators (NanoSAR)

Título del proyecto: NanoSAR – Nanogaps Sensors and Resonators
Entidad financiadora: Acción Integrada 2009 España-Francia, Ministerio de Ciencia e Innovación
Ref. FR2009-0075
Entidades participantes: Grupo de Aplicaciones de Microondas (Universidad Politécnica de Valencia), Instituto de Investigación en Comunicaciones Ópticas y Microondas (Universidad de Limoges),
Duració: 01/01/2010 – 01/01/2012
Investigador responsable: Dr. Jorge D. Martínez Pérez y Dr. Vicente E. Boria Esbert
Número de investigadores participantes: 3 (Subproyecto Grupo de Aplicaciones de Microondas), 6 (Proyecto)

Breve Descripción del Proyecto: El objetivo fundamental del proyecto consistió en el estudio de resonadores de elevado factor de calidad basados en estructuras de tipo MEMS/NEMS y su aplicación a la realización de sensores resonantes pasivos que pudiesen ser remotamente interrogados. A su vez, esta acción integrada ha permitido mantener y estrechar la colaboración ya existente entre los grupos de investigación francés y español en el ámbito de los MEMS/NEMS y sus potenciales aplicaciones, habiendo contribuido a la formación de personal técnico así como de investigadores en fase de formación pre-doctoral. El know-how adquirido con la realización de este proyecto ha sido clave para continuar el desarrollo de una línea de I+D del grupo en micro- y nano- tecnologías aplicada a las telecomunicaciones.

Las actividades principales acometidas durante el desarrollo del proyecto han sido las siguientes: a) modelización del comportamiento electromecánico de estructuras MEMS/NEMS mediante análisis estático, dinámico y no lineal de la estructura, b) simulaciones EM utilizando software comercial de elementos finitos que combinan estructuras 3D junto con modelos o circuitos equivalentes de los resonadores (modelo electromecánico desarrollado), c) proceso de optimización de las estructuras para diseñar estructuras con un nivel de distorsión de intermodulación que garantiza determinar la frecuencia de resonancia de la estructura a partir de la potencia de las señales reflejadas por la antena integrada, d) desarrollo de tecnologías de microfabricación que permitan la fabricación de micro/nanoestructuras resonantes, e) análisis de la integración de las estructuras resonantes junto con antenas que permitan la realización de sensores pasivos que puedan ser remotamente interrogados.